當半導體應(yīng)變片受到外界應(yīng)力的作用時，其電阻率的變化與受到應(yīng)力的大小成正比。對于不同的半導體，壓阻系數(shù)和彈性模量都不一樣，所以靈敏度了不相同，但總的來說，壓阻式光電開關(guān)傳感器的靈敏系數(shù)大大高于金屬電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)，這是壓阻式光電開關(guān)傳感器的一個突出優(yōu)點。
壓阻式光電開關(guān)傳感器的材料一般半導體應(yīng)變片是沿所需的晶向?qū)⒐鑶尉w切成條形薄片，厚度約為0.05-0.08mm，在硅條兩端先真空鍍膜蒸發(fā)一層黃金，再用細金絲分別與兩電極焊接。硅條是感壓部分，基底起支撐和絕緣作用，采用膠膜材料，電極一般用康銅箔，外引線用鍍銀銅線。 |
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